爱德华GXS工业干式螺杆真空泵及泵组产品介绍
GXS工业干式螺杆真空泵及泵组官方产品介绍
核心定位：工业级无油干式真空泵 | 变径变距螺杆技术 | 水冷设计 | 智能控制 | 含单泵/泵组参数+应用场景
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产品简介
GXS系列是新一代工业干式螺杆真空泵，采用独特的变径变距锥形“Quimby”螺杆技术与世界领先的高效驱动技术，实现极限真空低至5×10⁻⁴ mbar，具备优异的液体（5升）与粉尘（1公斤）处理能力，支持100%氩气抽取。产品搭载智能控制系统，支持多种通讯协议与远程控制，水冷式设计确保温度稳定，维修间隔长，运行成本低，广泛应用于半导体、冶金、化工、镀膜、干燥等多个工业领域，可单独使用或组成罗茨泵组提升性能。
核心产品优势
- 高效快速：极限真空可达0.3~0.7 Pa（全压无吹扫），缩短抽真空时间，提升生产效率
- 稳定可靠：双端轴支撑设计，振动极低；陶瓷轴承+全氟润滑油，使用寿命长；轴封吹扫保护齿轮箱，适配苛刻工况
- 智能灵活：标配按钮式控制面板，可选手持终端；支持多模式变频调速与PID压力控制，适配不同工艺需求
- 经济节能：高效电机+变频器驱动，能耗优化；占地小，安装成本低；维修间隔长，维护成本低廉
- 环保洁净：无废油排放，真空环境无油污染；低噪音（64~70 dB(A)），碳排放量低
- 强适配性：变径变距螺杆设计，全浓度氩气抽取；闭环水冷系统，热稳定性好；支持单独使用或罗茨泵组组合
核心技术参数
一、单个干泵参数
| 型号 | GXS160 | GXS250 | GXS450 | GXS750 |
|---|---|---|---|---|
| 峰值抽速 | 160 m³/h | 250 m³/h | 450 m³/h | 740 m³/h |
| 极限真空（全压无吹扫） | 0.7 Pa | 0.4 Pa | 0.5 Pa | 0.3 Pa |
| 电源供应 | 380/460V 3ø 50/60Hz；200/230V 3ø 50/60Hz | 同左 | 同左 | 同左 |
| 最高抽气负荷功率 | 5 kW | 9 kW | 17.3 kW | 40 kW |
| 极限压力下功率 | 3.8 kW | 4 kW | 7.2 kW | 11.1 kW |
| 进气口接口 | ISO63F | ISO63F | ISO100F | ISO100F |
| 排气口接口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW50 |
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥压缩空气 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 推荐润滑油 | PFPE Drynert 25/6、Fomblin 25/6、Krytox1525 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 油容量 | 0.7 L | 0.7 L | 1.8 L | 2.4 L |
| 工作环境温度 | 5~40 ℃ | 同左 | 同左 | 同左 |
| 设备重量 | 305 kg | 305 kg | 546 kg | 679 kg |
| 外形尺寸（长×宽×高mm） | 1092×390×568 | 1092×390×568 | 1186×517×717 | 1622×517×717 |
| 运行噪音（配消音器） | 64 dB(A) | 64 dB(A) | 64 dB(A) | 70 dB(A) |
二、罗茨泵组参数（精选型号）
| 泵组型号 | GXS160/1750 | GXS250/2600 | GXS450/2600 | GXS750/4200 |
|---|---|---|---|---|
| 峰值抽速 | 1200 m³/h | 1900 m³/h | 2200 m³/h | 3450 m³/h |
| 极限真空（全压无吹扫） | 0.07 Pa | 0.05 Pa | 0.05 Pa | 0.05 Pa |
| 最高抽气负荷功率 | 7.4 kW | 9.7 kW | 20 kW | 40 kW |
| 极限压力下功率 | 5.1 kW | 5.3 kW | 8.8 kW | 40 kW |
| 进气口接口 | ISO100F | ISO160F | ISO160F | ISO160F |
| 排气口接口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW50 |
| 油容量 | 1.4 L | 1.4 L | 2.5 L | 4.2 L |
| 设备重量 | 475 kg | 515 kg | 760 kg | 976 kg |
| 外形尺寸（长×宽×高mm） | 1092×390×830 | 1092×390×830 | 1186×517×1031 | 1622×517×1031 |
| 运行噪音（配消音器） | 64 dB(A) | 64 dB(A) | 64 dB(A) | 70 dB(A) |
核心结构与功能特点
1. 创新螺杆转子技术
- 双端轴支撑：非悬臂式设计，振动极低，启动可靠性强，液体与粉尘处理能力优异
- 变径变距锥形“Quimby”螺杆：气体平稳逐级压缩，热控制优化，无压力脉冲，轻质气体抽气性能佳
- 无涂层设计：先进加工技术，转子无需涂层仍保证最佳极限真空
2. 轴承与密封系统
- 轴承配置：优质陶瓷轴承，搭配全氟润滑油（低饱和蒸汽压），使用寿命长
- 轴封技术：唇式密封+动/静迷宫密封三级结构，结合每分钟12升轴封吹扫，防止工艺介质污染齿轮箱，确保无油真空环境
- 油气过滤：两级油气过滤装置，最小化真空环境油污染
3. 驱动与冷却系统
- 驱动技术：整体密封高效电机+变频器，扭矩输出最大化，无漏油风险，漏率低
- 冷却设计：水冷式电机+水冷式变频器+闭环水冷温控系统，热稳定性好，延长设备寿命
4. 智能控制系统
（1）控制模式
- 变频调速：支持面板设定定速/转速、外部0-10V/0-24mA信号调速、PID压力控制（配合Edwards真空计）
运行模式：支持自动开机/停机、AUC降频节能模式、低转速待机模式，可选泵腔自动溶剂冲洗
（2）控制接口
- 标配：“仪表盘”式控制面板，IP31外壳，运行/故障状态指示灯
- 可选：手持控制显示终端（PDT）、IP54外壳
- 通讯接口：Profibus、RS232、以太网、SIM协议、I/O并行通讯，支持远程监控与控制
适用场景与主导市场
1. 核心应用领域
（1）冶金行业
真空钎焊、电子束焊接、氮碳共渗、低压渗氮/渗碳、化学气相浸渍、烧结、金属注射成型等
（2）镀膜行业
卷绕镀膜、硬质镀膜（CVD/DLC）、表面活化、等离子喷涂、玻璃镀膜
（3）干燥行业
冷冻干燥、套管填充、变压器/管道/电容器/锂电池干燥、蒸汽灭菌消毒
（4）其他行业
- 等离子工艺：等离子焊接、离子渗碳
- 太阳能：硅晶提拉、PV层压
- LED制造：真空室清空
- 航天模拟：航天模拟舱、气体回收/循环、真空锁室抽空
2. 主导市场
- 半导体及光伏产业（40%+市场潜力）：刻蚀、镀膜、半导体冶炼（铸锭、拉晶）等
- 化工及合成制药（25%+市场潜力）：蒸馏、干燥、洗涤、脱气、油气及溶剂回收、腐蚀性气体处理（不饱和烃及多低聚物工艺需特殊设计）
- 其他行业（30%+市场潜力）：湿气处理、过热气体处理、腐蚀性气体处理、厂务真空
售后与使用说明
- 润滑油要求：仅限使用推荐型号（PFPE Drynert 25/6、Fomblin 25/6、Krytox1525），确保设备寿命
- 安装要求：预留冷却水管路，吹扫气体需选用干燥氮气或压缩空气，按接口规格连接管路
- 维护建议：定期检查轴封吹扫气路通畅性、润滑油液位，按运行小时数更换润滑油与滤芯
- 备注：产品规格可能因改进变更，以实物为准；腐蚀性或特殊工艺气体使用前需确认设备适配性